アルミスカンジウムスパッタリングターゲット

名前：AlScスパッタリングターゲット

CAS番号：7429-90-5 / 7440-20-2

式：Al-Sc（Al：Sc=80:20 at％、Al：Sc=70:30 at％またはカスタマイズされた組成）

純度：99.9％-99.99％

サイズ：直径6インチx0.125インチthまたはカスタムメイド

生産工程：

真空誘導溶解VIM

CNCを使用した寸法への加工

無酸素銅バッキングプレートへのインジウムボンディング

アルミニウムスカンジウムスパッタリングターゲットは、アルミニウムスカンジウム合金で作られたフィルムコーティング材料の一種です。 したがって、それらは同様の物理的および化学的特性を持っています。

応用：

AlScスパッタリングターゲットは、航空機の隔壁コーティングと翼コーティングに使用されており、AlSc合金は、燃料や排気システムだけでなく、さまざまな回転ギアや移動ギアにも使用されています。 アルミニウムスカンジウム合金製品は、航空宇宙産業において大きな可能性を秘めています。

低密度でありながら高強度という優れた特徴を備えたアルミニウムスカンジウム合金は、電子製品の外装に適した製品です。 また、アルミニウムスカンジウムターゲットを使用して他の材料の表面をコーティングすると、ケースの耐久性と寿命も向上します。 電子機器のケーシングに加えて、アルミニウムスカンジウム合金のスパッタターゲットは、半導体チップやセンサーのコーティングなどの内部コンポーネントにも使用されます。

ELISAでのAlScスパッタターゲットのアプリケーション：

新しい5G / 6Gの時代に移行するにつれ、帯域幅とデータレートに加えて、もう1つの重要なパラメータはシグナルインテグリティであり、これには高いQ値が必要です。 Q値は、アプリケーションで使用される薄膜材料の圧電特性に関連しています。 現在、AlSc合金がさまざまなScレベルで使用されており、Sc含有量が多いほど圧電特性が高くなります。

AlSc薄膜圧電材料は、自動車、産業、および個人用電子機器でますます見られるようになっています。 アプリケーションには、PMUTベースの指紋センサーとジェスチャ認識デバイス、MEMSマイク、共振器ベースの化学センサー、および医療センサーが含まれます。 さらに、5Gネットワ​​ークアプリケーション用のRFフィルタを有効にするには、スカンジウムをドープした窒化アルミニウム膜がますます必要になります。

よくある質問：

スパッタリングターゲットは何ですか？

スパッタリングターゲットは、スパッタデポジションまたは薄膜デポジションと呼ばれる手法で薄膜を作成するために使用される材料です。ほとんどのスパッタリングターゲット材料は金属元素または合金ですが、さまざまな用途に硬化した薄いコーティングを作成するセラミックターゲットがいくつかあります。ツール。

スパッタリングは、シリコンウェーハ、ガラス、またはその他の基板上に薄膜を形成するために使用される技術です。 スパッタリング装置で維持される真空状態内で、スパッタリングターゲットはアルゴンイオンで衝撃を受ける。 これにより、原子または分子がスパッタリングターゲットから放出されます。 原子または分子が堆積し、基板上に薄膜を形成します。 スパッタリングターゲットは、スパッタリングが行われるときのイオン衝撃の対象です。

アルミスカンジウムスパッタリングターゲットは何に使用されますか？

AlScスパッタリングターゲットは、アルミニウムスカンジウム合金で作られたフィルムコーティング材料の一種です。 これは、従来のAlN合金の約10倍の高い圧電定数を約束するアルミニウムスカンジウムの薄膜を作成するために使用されます。 高品質のAl-Scスパッタリングタガルゲットは、バルク音波（BAW）を生成するための重要な材料です。

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